場(chǎng)發(fā)射電鏡是電子顯微鏡的一種。廣泛用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質(zhì)礦物、商品檢驗(yàn)、產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析??梢杂^察和檢測(cè)非均相有機(jī)材料、無(wú)機(jī)材料及在上述微米、納米級(jí)樣品的表面特征。
場(chǎng)發(fā)射分熱場(chǎng)和冷場(chǎng),共性是分辨率高。熱場(chǎng)的束流大些,適合進(jìn)行分析,但維護(hù)成本相對(duì)較高,維護(hù)要求高。冷場(chǎng)做表面形貌觀測(cè)是適合的,相對(duì)而言維護(hù)成本低些,維護(hù)要求不算高。
冷熱場(chǎng)發(fā)射電鏡有哪些區(qū)別?
1、適用范圍不同。
冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是一種用于材料科學(xué)、化學(xué)領(lǐng)域的分析儀器,而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是一種用于物理學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的分析儀器。熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡使用范圍更廣。
2、技術(shù)指標(biāo)不同。
冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡:
辨率:1.0nm (15kV),2.0nm (1kV),1.4nm(1KV)入射電子減速功能。放大倍率:×20 ~ ×800,000。加速電壓:0.5 ~ 30kV。X射線能譜儀分辨率/有效面積:不低于133eV,10mm2。
熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡:
放大倍數(shù):35—90萬(wàn)倍。分辨率:工作電壓15kV時(shí)分辨率為1.0nm。加速電壓:0.2Kv—30Kv。能譜:探測(cè)元素范圍B5-U92。能量分辨率:136eV。
3、主要功能不同。
冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是超顯微、形貌與成分分析相結(jié)合。而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是物理學(xué),材料科學(xué),能源科學(xué)技術(shù)。