臺式電鏡SEM的維護保養(yǎng)方法主要包括冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、空氣壓縮機、機械泵、烘烤和機械對中等關鍵部件的維護。這些保養(yǎng)措施確保了SEM的性能和壽命,并防止了環(huán)境因素對其造成的不良影響。
-檢查與記錄:每月至少檢查一次冷卻循環(huán)水的水位,并及時補充。同時,每半年更換一次過濾網,并清洗冷卻水。
-緊急處理:在發(fā)現(xiàn)泄漏或水位下降過快時,應立即停止使用SEM,并聯(lián)系專業(yè)技術人員進行維修。
-排水與清潔:每半個月至少進行一次內部排水,以確保空氣壓縮機的正常運行。
-油霧收集器:當油霧收集器附著油液或有油煙時,需要立即停機更換油泵,并更換油。
-油霧收集器:機械泵的油霧收集器需每半年更換一次,當油變?yōu)椴枭珪r,應立即更換機油。
-定期檢查與維護:定期檢查機械泵的運行狀態(tài),確保其無異常噪音或振動。
臺式電鏡SEM的工作原理:
電磁透鏡用于聚焦電子束。通過特定設計的電極之間形成等勢面曲線,可以對電子束進行精確聚焦,使其達到納米級別的束斑直徑。
掃描系統(tǒng)控制電子束在樣品表面的逐行掃描,確保每個像素點都被覆蓋。為了消除像散現(xiàn)象(即電子束在透鏡磁場中偏離設計軌跡),需要使用消像散器。消像散器通過調整磁場,使不同路徑上的電子束重新會聚到一點,從而提高圖像質量。
探測器收集電子與樣品相互作用后產生的信號。常見的探測器包括閃爍體加光電倍增管、半導體探測器等。信號經放大器放大后輸入顯示器,形成圖像。
-清潔與保養(yǎng):定期清潔樣品臺以及探針,確保SEM獲得清晰、準確的圖像。
-檢查與更換:檢查樣品臺表面是否有殘留物或污垢積聚,如有需要及時清理。同時,定期檢查探針的工作狀態(tài),如有損壞或老化應及時更換。
-溫度與濕度:實驗室環(huán)境溫度應長期維持在20~24°C之間,濕度保持在50%以下。這有助于防止設備受潮、腐蝕或其他不良影響。
-室內清潔:保持室內清潔衛(wèi)生,嚴禁在室內喝水、飲食,以避免污染和損害設備。